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如何对洁净室内的环境控制

2017-01-25 21:44:56   作者:小科  出处:摇钱树国际娱乐网站

 

  洁净室内之污染路来源,经测试分析结果,作业人员占约80%。实验数据显示,作业人员进出洁净室时尘埃有显著增加,有人动作时,洁净度马上劣化,可见洁净度劣化之原因人是主要因素。

洁净室

  洁净室的污染源可分为外污染及内污染源。外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料以及一般性气体如N2、O2、Air、给水、溶剂等;而内污染源则包括制程设备、工作人员、工具、加工制程、隔间材料、工作桌、包装材料等。

  对硅芯片而言,微尘粒子之附着将造成集成电路线路的变形或短路,使芯片失去运作功能,因此微污染源的控制已成为洁净室管理的重要环节。微污染控制,其基本原则有四:

  1、外部尘埃侵入之防止

  洁净室适当之正压保持(>0.5mmAq),做好施工工程之不漏气,人员设备、原材料搬入洁净室前先做好清洁擦拭等防尘动作,空气过滤器适当的管理和设置。

  2、室内发尘之防止

  隔间板、地板等洁净室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用洁净室专用器等。

  3、室内发尘之不积留

  墙壁体应光滑无死角、洁净室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。

  4、发生尘埃之排除

  换气次数应足够,适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当。人、物入室的管理问题、实际的作业条件和工程管理关联之问题、室内之空调及清扫关系之问题。

 

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